随着电子技术的迅速发展，数字集成电路得到了广泛的应用，数字芯片已经渗透到各个生产、生活的领域。与之相对应的，各个领域对数字芯片的性能、稳定性、可靠性也有了更高的要求。数字测试仪作为测试芯片性能最主要的技术正是在这样的环境下迅速发展起来。

　　整个数字测试仪通常包含了五大部件：电源模块、通信模块、参数测量单元、数字测量单元和主控制模块。其中，参数测量单元和数字测量单元是整个数字测量仪的核心部件，参数测量单元直接决定着整个系统测试仪的模拟参数测量精度和应用范围。因此，设计出具备高精度、高速度的参数测量单元的数字测试仪具有很高挑战性。

　　本文提出了一种高速度高精度的参数测量单元。该单元应用于数字测试仪,具备16通道选通测试能力和可编程指令集，同时自带的PID循环验证和Kelvin四线连接技术可以有效提高整个模拟参数测量精度，使测量仪在低于50Ω的负载情况下仍能维持不超过千分之一的测试误差。

　　数字测试仪框架

　　数字测试仪框架如图1所示，采用Cyclone系列的FPGA作为主控制芯片。该芯片能够有效控制各种高速并行D/A、A /D进行测试;同时对大量的通道选通继电器、存储器阵列、数字信号采集芯片等进行准确控制。由图1可以看出，测试仪的模块很多，但需要指出的是模拟参数单元占到了整个面积和成本的三分之一以上，这也显示了参数测量单元的重要性。

　　图1 数字测试仪架构图

　　参数测试单元硬件设计

　　1 测试单元整体架构

　　参数测试单元如图2所示，总共包括了三大部分，第一部分参数测试通道主要由各种功能的通道组成，包含了16个参数测量通道用来测试芯片的16个引脚;以及多个辅助引脚，这些辅助引脚可以辅助Kelvin连接评估传输线阻抗和模拟总线交互功能。

　　图2 参数测试单元架构

　　这些测试通道由测量单元的第二部分：继电器阵列组控制。继电器除了对测试通道进行开关控制外，还能够控制该单元的功能操作和时序操作，对测试精度有很大的影响。同时,这些继电器具备可编程功能,能够根据用户需求适时更改。提高了整个测试系统的灵活性，有助于系统以后的升级。

　　最后是信号处理部分，这部分电路主要由高速16位DAC、ADC以及各种运算放大器、仪器放大器以及存储器构成,主要进行各种参数测试、存储和反馈。

　　2 高精度信号测量模块的实现

　　要实现高精度信号测量模块，必须具有高精度的DAC和ADC转换芯片，这里采用了TI公司的 DAC702和ADI公司的AD976来进行16位精度的信号输出和回采。测量模块原理如图3所示，测试单元搭配了5个千分之一精度的精密电阻：50Ω、 500Ω、50kΩ、500kΩ和5MΩ来划分不同的测试范围。为了保证足够的测试精度，本测量单元还专门划分JDQF和JDQS，使得整个测试系统具备 Kelvin连接要素，可以分别向DUT(待测单元)提供FORCE线、SENCE线、LOW FORCE和LOW SENCE线，具备了当负载为小电阻情况下进行精确测量的能力。